1、有效處理效率：廢氣處理設備的處理效率是衡量其技術指標的重要指標，其處理效率可以根據廢氣的污染物的類型、含量、處理方式等因素進行不同的評價，以確保廢氣處理設備的有效處理效果。

2、排放標準：廢氣處理設備的排放標準是指排放出的廢氣中污染物的濃度，必須符合或地方的污染物排放標準，以保護環境。

3、維護成本：廢氣處理設備的維護成本是指維護廢氣處理設備所需要的費用，包括更換零部件、檢查設備等，這些費用必須合理，以保證廢氣處理設備的正常運行。

4、運行可靠性：廢氣處理設備的運行可靠性是指設備在正常運行時，能夠持續穩定的運行，不出現意外的故障，以確保廢氣處理設備的正常運行。

5、技術服務：廢氣處理設備的技術服務是指在廢氣處理設備的正常運行中，企業提供的技術支持，包括技術改造、性能提升等，以保證廢氣處理設備的正常運行。

綜上所述，廢氣處理設備的技術指標包括有效處理效率、排放標準、維護成本、運行可靠性和技術服務等。通過改善廢氣處理設備的技術指標，可以有效減少污染物排放，提高企業的社會責任感，同時也能夠降低企業的運行成本。